七星华创质量流量控制器
cs300型质量流量控制器信息由北京七星华创电子股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于cs300型质量流量控制器报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：对于医疗器械类产品，请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况
七星华创质量流量控制器 产品详情
七星华创质量流量控制器
cs300型质量流量控制器信息由北京七星华创电子股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于cs300型质量流量控制器报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：对于医疗器械类产品，请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况
七星华创质量流量控制器
产品简介
cs300系列产品特点：
1. 与气体接触的零件表面经过电化学抛光处理，粗糙度达到ra 5μinch。
2. 与气体接触的零件表面化学成分：cr/fe比例≥2.0；cro 厚度≥20 （埃）。
3. 具有压力补偿功能。
4. 支持1.125,1.5英寸w，c，b型igs气路系统
类号
cs310c
cs320c
阀类型
normally closed or normally open
no valve
normally closed or normally open
no valve
流量规格(n2)
(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)sccm
(0～1,2,3,5,10,20,30)slm
准确度
±1% s.p. (≥35% f.s.)
±0.35% f.s. (＜35% f.s.)
±0.80% s.p. (≥30% f.s.)
±0.24% f.s. (＜30% f.s.)
线性
±0.5% f.s.
重复精度
±0.2% f.s.
响应时间
≤0.8sec（≤0.5secoptional）
工作压差范围
(0.05～0.35)mpa(≤10slm)
(0.1～0.35)mpa (＞10slm)
＜0.02 mpa
(0.05～0.35)mpa(≤10slm)
(0.1～0.35)mpa (＞10slm)
＜0.02 mpa
温度系数
zero: ≤±0.02% f.s./℃；span: ≤±0.05% f.s./℃
耐压
3.5mpa
漏率
1×10-11pa·m3/ sec he
密封材料
metal
工作环境温度
（0～50）℃
输入信号
digital:rs485 or devicenet
analog:(0～5)vdc
no
digital:rs485 or devicenet
analog:(0～5)vdc
no
输出信号
digital:rs485 or devicenet
analog:(0～5)vdc
零漂
＜0.6%f.s. per year without autozero
电源
±11～±16 vdc (双极)或+11～+28 vdc (单极)
表面化学成分
cr/fe ratio >2.0; cro thickness >20 angstroms
表面粗糙度
ra5μinch
标准接头形式
vcr1/4阳接头；
1.125″c型密封接头
1.125″w型密封接头
1.5″b型密封接头
1.5″c型密封接头
1.5″w型密封接头
电源接头形式
d sub 9 pins male，d sub 15 pins male，devicenet male
重量
1 kg
0.8kg
1.2kg
1kg
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